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双轴精密划片机

分类:半导体设备 案例中心 554 0

双轴晶圆切割机为12英寸全自动动精密划片机,

采用高精密进口主要配件,T轴采用DD马达,重复精度1μm,稳定性极强
采用进口研磨级超高精密滚珠丝+松下伺服电机A6系列,精度高,耐用性久,稳定性高,超高直线度,实测0.9um采用进口研磨级超高精密滚珠丝杠,定位精度可达2μm

  • 双轴精密划片机

    双轴晶圆切割机为12英寸全自动动精密划片机, 采用高精密进口主要配件,T轴采用DD马达,重复精度1μm,稳定性极强 采用进口研磨级超高精密滚珠丝+松下伺服...

标签:伺服电机伺服驱动器松下

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