CKD化学液体用气控阀 2通阀 AMDZ13R AMDZ23R AMDZ33R

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主要用途：清洗装置· 化学液体供给装置
气控阀
流体名		2通
		AMDZ※3R AMDO※3R AMD3※3R AMD4※3R AMD5※3R ……第2页	AMDO※2 ……第26页	AMD3※2 AMD4※2 AMD5※2 ……第30页	AMD41H AMD51H AMD61H ……第52页	AMD31M AMD51M ……第56页
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纯水		●	●	●	●	●
酸性流体	硫酸	●	●	●	●	●
	盐酸	●	●	●(注10)	●	●
	硝酸	●	●(注5)	●(注5)	●	●
	氢氟酸(注2)	●(注11)	●	●注5,10)	●	●
	磷酸	●	●	●	●	●
	氟化铵(注2)	●(注11)	●	●(注5)	●	●
	双氧水	●	●	●	●	●
	臭氧水	△	△	△	△	△
	硫酸+双氧水(注3)	●	●	●	●	●
	硫酸+臭氧	△	△	△	△	△
碱性流体	氢氧化钠	●	●	●	●	●
	氢氧化钾	●	●	●	●	●
	氨水	●	●注6)	●注6)	●注6)	△
有机类流体	丙酮	X	●注6)	●(注7)	●注6)	— (注8)
	醋酸丁酯	X	●注6)	●(注7)	●注6)	— (注8)
	异丙乙醇	●	●	●	●	— (注8)
其它 · 混合液 (注1)	稀释剂	X	●	●	●	— (注8)
	绝缘涂料	●	●	●	●	— (注8)
	显影液	●	●	●	●	— (注8)
	研磨液	●	●	●	●	一 (注8)
	电镀液	●	●	●	●	— (注8)
	剥离液(注4)	●	●	●	●	— (注8)
气体	空气、氮气	气体时，可能会发生最大1cm³/min(气压下)的阀座泄漏。

判定	●	可以使用。（请在产品登载页确认详情。）
	△	请与本公司协商。（某些条件下可以对应。）
	X	不可使用。
注1 ：由于通常采用各种各样的化学液体的混合液，因此，无法掌握所有影响。请在充分确认产品构成材料与所使用流体的适用性后，判断可否使用。注2 ：使用氢氟酸或含氢氟酸的化学液体时，或者流体温度超过40℃时，请咨询本公司。注3 ：在100℃以上的温度下使用硫酸+双氧水时，请与本公司协商。注4 ：在流体温度80℃以上的条件下使用胺类剥离液时，请定期更换。建议最少一年更换一次。注5 ：请选择选择项“P”。注6 ：请选择选择项“M”。注7 ：进行金属配管时，请选择不锈钢阀体型号。进行氟树脂配管时，请选择选择项“M”。注8 ：建议使用适于这些化学液体的AMD※※H系列或AMD※※2系列。注9 ：由于属于高透过性化学液体，透过气体将会混入先导空气中，从而对执行元件产生不良影响。需要保护执行元件时，请与本公司协商。注10 ：本公司可以提供采取了酸性流体对应对策以及透过气体对策的特注生产品。请另行与本公司协商。注11 ：使用氢氟酸或含氢氟酸的化学液体时，流体温度为5～80℃。无法使用旁通阀体。注12 ：气体时，可能会发生最大1cm3/min（气压下）的阀座泄漏。

规格
项目		AMDZ※3R
使用流体		纯水、化学液体、空气、氮气(注1)
流体温度 ℃		5~120(注2、注3)
耐压力 MPa		1.0
使用压力(A→B) MPa		0～0.5
使用压力(B→A) MPa		0～0.5
阀座泄漏 cm³/min		0(水压)
背压 MPa		0～0.5
环境温度 ℃		0~60
频率		30次/分钟以下
安装方式		自由
连接方式		OD1/8"配管连接(接头一体型) ODφ6配管连接(接头一体型) OD1/4"配管连接(接头一体型)
通径		φ2	φ3.5	φ4
Cv值		0.07	0.22	0.25
控制部位	控制压力 MPa	NC、NO:0.4～0.5,双作用：0.3～0.4
	控制	Rc1/8(使用控制口NC:Y口NO:X口双作用：X、Y口)
重量 kg		0.07
注1:请在确认产品构成材料与使用流体、环境的适用性基础上使用本产品。(请参考第55页适用性检查表。) 注2:氢氟酸或含氢氟酸的化学液体请在5～80℃的范围内使用。注3:如果连接方式为F-LOCK60 系列接头，则为5～100℃。

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