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非接触式吸盘-CKD精密吸盘〈黑色型〉PVP-B Series

非接触式吸盘-CKD精密吸盘〈黑色型〉PVP-B Series

致力于无损伤、无反射的黑色型崭新登场!

不损伤工件、 超洁净&高精密吸附

实现了气孔率40%、平面精度5μm/10mm。               可制作定制产品。详情请咨询本公司销售人员。  接单生产品

吸附面硬度为肖氏D100,不会损伤工件,可适用于各种用途。

最适用于较薄晶圆及薄膜、易损工件的吸附固定、搬送!

  • 半导体制造工序的吸附固定(粘贴等)
  • 检查装置
  • 工件的搬送
  • 部件的组装工序

主要规格
产 品__吸附面精度平面度5~50μm
平行度10~100μm
真空差压40kPa以上(真空发生源—90kPa时)
多孔材质部位材质聚亚苯基硫醚(PPS)含碳素纤维※
气孔率40±5%
硬度(肖氏D)100以下
底板部位材质耐腐蚀铝合金
表面处理黑色表面处理
※碳素纤维裸露于表面,可能导致粉末粘附到工件上、强力摩擦时导致脏污或发尘,敬请注意。

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