非接触式吸盘-CKD精密吸盘 PVP Series

2023/11/24 CKD气动元件产品中心真空系统元件 235 0

精密吸盘 PVP Series

不损伤工件、 超洁净＆高精密吸附｡

吸附面采用氟树脂烧结多孔材质的精密吸盘PVP系列。

即使是极薄材料及柔软材质，也不会损伤工件，并能消除因吸附导致的歪斜及变形。

可完成各种高精度工件处理。

用途示例

光盘、磁盘的搬送､粘贴等

液晶玻璃、薄膜基板的粘贴、搬送等

晶圆旋转、抛光、搬送等

除上述吸附用途外，还接单生产上浮用途产品

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规格
项目			PVP-R-86-18 PVP-C-50 PVP-S-50-50	PVP-R-85-27 PVP-R-118-18 PVP-C-75 PVP-C-100 PVP-C-113 PVP-C-138 PVP-S-100-100	PVP-C-187 PVP-S-150-150 PVP-S-200-850
产品	吸附面 μm(注)	平面度	2	3	4
	吸附面 μm(注)	平行度	5	10	15
	基准面平面度 μm		10	10	10
	空气泄漏量 2/min(ANR)		0.4	0.6	1
	真空差压 kPa(注2)		40以上
	使用加压力 MPa		0.2以下(清洁空气)
	环境温度 ℃		5～40
	环境湿度 %RH(注3)		65以下
多孔材质部位	材质		三氟聚氯乙烯树脂
	气孔率 %		40±5
	肖氏D硬度度		60±15
底板部位	材质		耐腐蚀铝合金
底板部位	表面处理 (注4)		无
注1:该精度是在23℃恒温室中放置24小时后的测量值。在非23℃的环境中精度将发生变化，可能偏离规格值。测量方法规定，在无负载状态下将产品置于平台上测量其直线度(2个方向以上),取其最大值。虽然不是原本的平面度测量方法，但因为多孔材质表面存在凹痕，所以采用了该测量方法。
注2:表示通过整个多孔材质面真空吸附工件时的真空源压力下降值。注3:在超过65%RH的湿度环境中，可能导致吸附面精度变化，偏离规格值。注4:本产品的本体材质为耐腐蚀铝合金未淬火材质。需要指定表面处理(钝化处理、无电解镀镍等)时，接单生产处理对应。


吸附面积·重量表
型号	吸附面积(cm2)	重量(g)
PVP-R-36-18	8	80
PVP-R-85-27	51	290
PVP-R-118-18	107	520
PVP-C-50	20	140
PVP-C-75	44	250
PVP-C-100	79	390
PVP-C-113	100	490
PVP-C-138	149	680
PVP-C-187	275	1,170
PVP-S-50-50	25	160
PVP-S-100-100	100	490
PVP-S-150-150	225	980
PVP-S-200-250	500	2,030

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